本实用新型公开了一种晶圆角度自动旋转设备，包括可调节高度的底座，底座上固定有固定套筒，固定套筒内设有可转动的丝杠以及通过螺纹转动连接于丝杠上的多个滑块，丝杠一端与丝杠电机的驱动端连接，固定套筒的一侧设有使得所有可伸缩手臂上下移动的滑槽，每个可伸缩手臂另一端固定有旋转电机，旋转电机的驱动端上固定有吸住晶圆的吸盘，每个可伸缩手臂另一端穿过固定套筒上的滑槽并与其对应的一个滑块固定连接，每个可伸缩手臂上分别设有可独立探测晶圆角度的探测器。本实用新型的高度可调节，可伸缩手臂长短可根据不同尺寸晶圆手动调节，

　　(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219759562 U (45)授权公告日 2023.09.26 (21)申请号 4.4 (22)申请日 2023.05.22 (73)专利权人 睿励科学仪器（上海）有限公司 地址 200120 上海市浦东新区中国 （上海） 自由贸易试验区华佗路68号6幢 (72)发明人 齐国宇王金歌李晓辉 (74)专利代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 专利代理师 翁若莹 (51)Int.Cl. H01L 21/687 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种晶圆角度自动旋转设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆角度自动旋转 设备，包括可调节高度的底座，底座上固定有固 定套筒，固定套筒内设有可转动的丝杠以及通过 螺纹转动连接于丝杠上的多个滑块，丝杠一端与 丝杠电机的驱动端连接，固定套筒的一侧设有使 得所有可伸缩手臂上下移动的滑槽，每个可伸缩 手臂另一端固定有旋转电机，旋转电机的驱动端 上固定有吸住晶圆的吸盘，每个可伸缩手臂另一 端穿过固定套筒上的滑槽并与其对应的一个滑 块固定连接，每个可伸缩手臂上分别设有可独立 探测晶圆角度的探测器。本实用新型的高度可调 节，可伸缩手臂长短可根据不同尺寸晶圆手动调 U 节，丝杠电机通过驱动丝杠旋转可以调节可伸缩 2 手臂的间距。 6 5 9 5 7 9 1 2 N C CN 219759562 U 权利要求书 1/1页 1.一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，包括可调节高度的底座(15)，底座(15)上 固定有固定套筒(1)，固定套筒(1)内设有可转动的丝杠(7)以及通过螺纹转动连接于丝杠 (7)上的多个滑块(6)，丝杠(7)一端与丝杠电机的驱动端连接，固定套筒(1)的一侧设有使 得所有可伸缩手臂(2)上下移动的滑槽，每个可伸缩手臂(2)另一端固定有旋转电机(5)，旋 转电机(5)的驱动端上固定有吸住晶圆的吸盘(3)，每个可伸缩手臂(2)另一端穿过固定套 筒(1)上的滑槽并与其对应的一个滑块(6)固定连接，每个可伸缩手臂(2)上分别设有可独 立探测晶圆角度的探测器(4)；探测器(4)连接根据探测器(4)信号控制旋转电机(5)转动或 停止以及控制丝杠电机启闭的控制模块，控制模块连接旋转电机(5)和丝杠电机；探测器 (4)、旋转电机(5)、丝杠电机、控制模块均通过电路与电源(13)连接。 2.如权利要求1所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的底座(15)上还 固定有外壳(12)，每个可伸缩手臂(2)另一端依次穿过外壳(12)一侧和固定套筒(1)上的滑 槽并与其对应的一个滑块(6)固定连接，控制模块固定在外壳(12)侧壁上。 3.如权利要求1或2所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的控制模块 包括控制板卡(11)和操作面板(8)，丝杠电机、多个探测器(4)、多个旋转电机(5)均连接控 制板卡(11)，控制板卡(11)和操作面板(8)连接，操作面板(8)上设有绿色的电源指示灯(9) 以及电源旋钮(17)和两个操作旋钮(10)，一个操作旋钮(10)上标示有不同晶圆的尺寸，根 据实际将操作旋钮(10)转动至对应位置后，从而启动丝杠电机调整相邻两个可伸缩手臂 (2)之间的间距至与晶圆尺寸匹配的位置；另一个操作旋钮(10)上标示有旋转电机(5)不同 的停止角度。 4.如权利要求1所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的丝杠(7)外壁 上的螺距不同，并满足以下条件：丝杠(7)转动后，可以调整相邻两个可伸缩手臂(2)之间的 距离，且任意相邻两个可伸缩手臂(2)之间的距离相同。 5.如权利要求1所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的底座(15)包括 上底座和下底座，上底座的上表面固定有固定套筒(1)和外壳(12)，上底座与下底座之间通 过螺纹管(14)螺纹连接。 6.如权利要求1所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的多个滑块(6) 可滑动设于固定套筒(1)内。 7.如权利要求1所述的一种晶圆角度自动旋转设备，其特征在于，所述的电源(13)内嵌 于底座(15)内。 2 2 CN 219759562 U 说明书 1/3页 一种晶圆角度自动旋转设备 技术领域 [0001] 本实用新型涉及一种晶圆角度自动旋转设备，用于晶圆制造厂，属于晶圆制造技 术领域。 背景技术 [0002] 在晶圆制造厂，晶圆储存、传送的最小单位是“盒(批)”，一盒晶圆有25片，这25片 晶圆角度基本相同(以Flat(切边)为参照)。然而晶盒内的晶圆角度常常因为各种原因呈不 同角度，比如在制造过程中某些片晶圆经过不同的机台后，重新传回Foup(Front Opening  Unified Pod，前开式晶圆传送盒)时的角度往往与原来有差异。同一盒内存在不同角度的 晶圆不利于后续管控。有些机台，若遇到同Foup中晶圆角度不同，可能无法识别，触发告警。 此时可能需要工程师手动旋转，或者到大型机台内单独旋转，才能将晶圆角度调整为一致， 过程比较复杂，效率低，耗时耗力，且容易造成晶圆污染和损伤。 发明内容 [0003] 本实用新型要解决的技术问题是：对于同一料盒内不同晶圆角度的不同，如何高 效的将晶圆角度调整为一致，且避免造成晶圆污染和损伤的问题。 [0004] 为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种晶圆角度自动旋转 设备，其特征在于，包括可调节高度的底座，底座上固定有固定套筒，固定套筒内设有可转 动的丝杠以及通过螺纹转动连接于丝杠上的多个滑块，丝杠一端与丝杠电机的驱动端连 接，固定套筒的一侧设有使得所有可伸缩手臂上下移动的滑槽，每个可伸缩手臂另一端固 定有旋转电机，旋转电机的驱动端上固定有吸住晶圆的吸盘，每个可伸缩手臂另一端穿过 固定套筒上的滑槽并与其对应的一个滑块固定连接，每个可伸缩手臂上分别设有可独立探 测晶圆角度的探测器；探测器连接根据探测器信号控制旋转电机转动或停止以及控制丝杠 电机启闭的控制模块，控制模块连接旋转电机和丝杠电机；探测器、旋转电机、丝杠电机、控 制模块均通过电路与电源连接。 [0005] 优选地，所述的底座上还固定有外壳，每个可伸缩手臂另一端依次穿过外壳一侧 和固定套筒上的滑槽并与其对应的一个滑块固定连接，控制模块固定在外壳侧壁上。 [0006] 优选地，所述的控制模块包括控制板卡和操作面板，丝杠电机、多个探测器、多个 旋转电机均连接控制板卡，控制板卡和操作面板连接，操作面板上设有绿色的电源指示灯 以及电源旋钮和两个操作旋钮，一个操作旋钮上标示有不同晶圆的尺寸，根据实际将操作 旋钮转动至对应位置后，从而启动丝杠电机调整相邻两个可伸缩手臂之间的间距至与晶圆 尺寸匹配的位置；另一个操作旋钮上标示有旋转电机不同的停止角度。 [0007] 优选地，所述的丝杠外壁上的螺距不同，并满足以下条件：丝杠转动后，可以调整 相邻两个可伸缩手臂之间的距离，且任意相邻两个可伸缩手臂之间的距离相同。 [0008] 优选地，所述的底座包括上底座和下底座，上底座的上表面固定有固定套筒和外 壳，上底座与下底座之间通过螺纹管螺纹连接。 3 3 CN 219759562 U 说明书 2/3页 [0009] 优选地，所述的多个滑块可滑动设于固定套筒内。 [0010] 优选地，所述的电源内嵌于底座内。 [0011] 本实用新型提供了一种晶圆角度自动旋转设备，用于半导体制造中晶盒内晶圆角 度自动旋转，该设备便携易用，成本低，操作简单，安全性高，速度快且效率高，并适用于不 同晶圆尺寸的多种Foup。 [0012] 本实用新型的高度可调节，可伸缩手臂长短可根据不同尺寸晶圆手动调节，电机 通过驱动丝杠旋转可以调节可伸缩手臂的间距，因丝杠的螺距不同，故丝杠转动一圈，每支 可伸缩手臂移动的距离也不同，因此可以兼容多种尺寸晶圆，默认间距为8寸晶圆间距。另 外，本实用新型的设备每个可伸缩手臂均有独立的探测器，可以识别Notch(切槽)、Flat(切 边)等多种晶圆缺口，也可以独立探测晶圆角度，从而实现多种角度旋转。 附图说明 [0013] 图1为一种晶圆角度自动旋转设备的示意图； [0014] 图2为可伸缩手臂上各个部件的示意图； [0015] 图3为操作面板的示意图。 具体实施方式 [0016] 为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。 [0017] 本实用新型提供了一种晶圆角度自动旋转设备，如图1‑图3所示，其包括底座15， 底座15采高密度金属材料，内嵌有电源13，可通过旋转底座调节设备高度，以便适应不同尺 寸Foup。外壳12采用塑料制作，可伸缩手臂2采用刚度较好的金属材料制作；底座15包括上 底座和下底座，上底座的上表面固定有固定套筒1和外壳12，上底座与下底座之间通过螺纹 管14连接，螺纹管14一端与上底座或下底座中的一个固定连接，螺纹管14另一端与上底座 或下底座中的另一个通过螺纹连接，从而实现底座15的高度调节。 [0018] 本实用新型设置有25个“可伸缩手臂2、旋转电机5、吸盘3”的单元，吸盘3采用软质 橡胶制作，可有效增大吸盘3与晶圆之间的摩擦力，防止出现相对滑动，可伸缩手臂2长短可 根据晶圆尺寸调节，每个可伸缩手臂2上方单独配备激光传感器(即探测器4)，可独立探测 晶圆的角度，其反馈信号可用于控制旋转电机5工作。丝杠7整体可上下移动，用于将晶圆整 体抬起，便于旋转。 [0019] 丝杠7可转动设于固定套筒1内，丝杠7的一端与丝杠电机的驱动端连接，丝杠7另 一端与外壳12顶部可转动连接，但不产生轴向位移。固定套筒1的一侧设有使得所有可伸缩 手臂2上下移动的滑槽，每个可伸缩手臂2的一端固定有旋转电机5，旋转电机5的驱动端上 设有吸住晶圆的吸盘3，每个可伸缩手臂2另一端依次穿过外壳12一侧和固定套筒1上的滑 槽并与其对应的一个滑块6固定连接，所有的滑块6通过螺纹转动连接于丝杠7上。 [0020] 控制模块包括控制板卡11和操作面板8，控制板卡11和操作面板8均固定在外壳12 的内侧壁上，丝杠电机、多个探测器4、多个旋转电机5均连接控制板卡11，控制板卡11和操 作面板8连接，操作面板8上设置有绿色的电源指示灯9以及电源旋钮17和两个操作旋钮10， 一个操作旋钮10中的“6、8、12”代表不同晶圆尺寸，可根据实际选择至对应位置，从而调整 可伸缩手臂2的间距至合适位置；另一个操作旋钮10中的模式“1、2”代表旋转电机5不同的 4 4 CN 219759562 U 说明书 3/3页 停止角度，“1”表示探测器4探测到Notch、Flat后，旋转电机5停止工作，“2”表示探测器4探 测到Notch、Flat后，旋转电机5再旋转180°(主要用于Notch、Flat位置需要背离Foup门情 况)后停止工作。两个操作旋钮10上的“Home”位，均为复位。电源旋钮17上设有ON位和OFF位 为整个装置的开和关。 [0021] 根据探测器4接收到的信号，控制模块控制旋转电机5旋转状态属于现有成熟技 术；根据预设的数据，通过丝杠电机调整丝杠7转动圈数也是一个现有的成熟技术(故而在 此不做说明)。 [0022] 由于丝杠7外壁上的螺距不同，故丝杠7转动一圈，每支可伸缩手臂2移动的距离也 不同，但不管丝杠7如何转动，保证任意相邻两个可伸缩手臂2之间的距离相同。 [0023] 由于每一个可伸缩手臂2上的旋转电机5和探测器4是一个独立的单元，因此，操作 面板8上的操作旋钮10能分别控制每个可伸缩手臂2上的旋转电机5和探测器4；当操作旋钮 10选择模式“1”后，探测器4探测到Notch、Flat后，对应的旋转电机5停止工作；当操作旋钮 10选择模式“2”后，探测器4探测到Notch、Flat后，指令旋转电机5再旋转180度。模式“1”、 “2”命令的起始点都是探测器4探测到Notch、Flat后。 [0024] 若存在排列相反的晶圆，首先都会将它们的Notch对齐，此时若是模式“1”，旋转电 机5立即停止；若是模式“2”，旋转电机5会在Notch对齐的基础上，所有晶圆都会再旋转180 度。 [0025] 本实用新型的工作过程如下： [0026] 根据Foup尺寸调节底座15的高度至合适位置，可伸缩手臂2长短伸出至对应位置； 如图3所示，将电源旋钮17旋至ON位；根据不同晶圆的尺寸，转动一个操作旋钮10至“6、8、 12”中一个所需晶圆的尺寸，此时可伸缩手臂2的间距会自动调节至合适位置，随后将本实 用新型放入Foup中；转动另一个操作旋钮10并选择模式“1、2”中对应位置3秒后，中心轴承 (即丝杠7)上升，将晶圆抬起，旋转电机5开始工作；待所有旋转电机5停止转动后，中心轴承 (丝杠7)下降，将本实用新型的设备取出。两个操作旋钮10旋转至“Home”位，设备复位，然后 将电源旋钮17旋转至OFF位，至此，晶圆角度旋转工作结束。 5 5 CN 219759562 U 说明书附图 1/2页 图1 6 6 CN 219759562 U 说明书附图 2/2页 图2 图3 7 7

　　2、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问加。

　　3、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。

　　4、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

　　双减背景下单元整体作业分层设计案例 部编版小学语文五年级下册 第七单元.doc

　　原创力文档创建于2008年，本站为文档C2C交易模式，即用户上传的文档直接分享给其他用户（可下载、阅读），本站只是中间服务平台，本站所有文档下载所得的收益归上传人所有。原创力文档是网络服务平台方，若您的权利被侵害，请发链接和相关诉求至 电线) ，上传者